真空鍍膜機(jī)的真空室分為上下兩部分，下半部分分為左右兩部分。蒸發(fā)源位于下部的左右兩側(cè)。將目標(biāo)材料放置在蒸發(fā)源上。當(dāng)蒸發(fā)源啟動(dòng)時(shí)，目標(biāo)材料通過(guò)電阻加熱蒸發(fā)成膜。另外，在產(chǎn)品不成膜的另一側(cè)放置輝光放電發(fā)生器，產(chǎn)生放電氣體，使產(chǎn)品不會(huì)起皺。

　　真空鍍膜機(jī)的保養(yǎng)很重要，主要有這三項(xiàng)：

　　1、 應(yīng)每200道鍍膜工序清潔一次工作間。

　　方法是用氫氧化鈉飽和溶液反復(fù)擦洗真空室壁（注意人體皮膚不能直接接觸，以免灼傷）。目的是使鍍?cè)谀ど系匿X與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜脫落，釋放氫氣。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洗精抽閥內(nèi)的污物。

　　2、 擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，泵速明顯減慢，或操作不當(dāng)。將其灌入大氣，取下連接水管，取下電爐板，擰出一次噴嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用摻水的洗衣粉清洗，再用清水清洗。待水蒸發(fā)后，安裝泵箱，加入新的擴(kuò)散泵油，將擴(kuò)散泵回油安裝到機(jī)器上，連接水管，安裝電爐，然后重新啟動(dòng)機(jī)器。重啟前注意檢漏。

　　方法是啟動(dòng)檢修泵，關(guān)上門(mén)，幾分鐘后，觀察擴(kuò)散泵真空度是否達(dá)到6x10pa，否則要進(jìn)行檢漏。檢查接頭是否有密封膠圈，或密封圈是否壓壞。加熱前排除漏氣隱患，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞油環(huán)，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。

　　3、 粗油泵（滑閥泵、旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季為半個(gè)月）時(shí)，需更換油。

　　方法是擰上打開(kāi)的油螺栓，排干舊油，然后啟動(dòng)泵幾秒鐘，使泵內(nèi)的舊油*排出。擰上機(jī)油螺栓并向機(jī)油油位添加新機(jī)油（機(jī)油觀察鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上的，換油時(shí)打開(kāi)油蓋，用布擦凈箱內(nèi)污垢。