共聚焦顯微鏡TCS SP8包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針孔盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED源通過(guò)多針孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過(guò)MPD的針孔減小到聚焦的部分，這落在CCD相機(jī)上。來(lái)自傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。相反，在共焦圖像中，通過(guò)多針孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）。只有來(lái)自焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片。在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，通過(guò)共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器通過(guò)物鏡的垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建的三維高度圖像。